高い耐熱温度が必要な場合に最適なヒーターです。絶縁材料のポリイミドフィルム(PI)は300℃まで耐熱対応可能です。
ポリイミドフィルム(PI)ヒーターは、シリコンラバーヒーター・PETヒーターと比較し耐熱温度が高いヒーターです。形状は丸、三角、または穴開けが可能。加熱対象物は平面から立体まで複雑な形状の加熱・加温に対応します。
薄い、軽い、柔軟性、耐水性、耐薬品性等に優れ、使用環境に合わせた設計が可能です。
絶縁材料は、ポリイミドフイルムを使用しており、コスト、形状、温度、使用環境に応じて対応いたします。
ポリイミドフイルムは薄くて熱容量が小さいため、加熱対象物の昇温レスポンスが速いことも特長です。
金属素子がヒーター面上に均等に配置されているため、加熱ムラが少なく、熱効率性が高いヒーターです。
また、発熱素子パターンは設計の自由度が高いことから、部分的に粗密をつけることにより、さらに精密な温度分布を実現することも可能です。

こんな課題ありませんか?
- シリコンラバーヒーターより高温の耐熱型のヒーターが欲しい
- 複雑な形状を加熱したい
- 速く昇温させたい
ポリイミドフィルム(PI)ヒーターの特徴

あらゆる加熱対象物の形状に対応します。R状に加熱対象物に沿わせて使用することができます。複雑な形状も専用の抜き型により綺麗な仕上りが実現します。
また、金属素子はエッチング加工品のため、大量生産向きで、生産量の多さがコストダウンに結び付きやすいヒーターです。
加熱対象物の形状に合わせて、穴を開けることも可能です。
金属素子はステンレス箔のエッチング加工品です。 金属箔の設計で長期間の使用に対応するため、電流負荷・熱負荷のストレス軽減を考慮し、40,000時間使用が可能な設計としています。
ポリイミドフィルム(PI)ヒーターの強み
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自由設計
自由自在な形状・パターン設計
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オーダーメイド
設計から製造まで対応可能
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コストメリット
お客様の求める仕様要件と合致する場合、シリコンラバーヒーターよりもコストメリットがあります
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高耐熱
絶縁材料であるポリイミドフイルムは耐熱300℃まで対応可能です
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低電圧・高い電力
面積が小さく、抵抗の小さい設計が容易で、低電圧設計に合わせやすい特長があります
ポリイミドフィルム(PI)ヒーターの活用例
- 半導体製造装置加温用ヒーター
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半導体製造装置を加温しようとした場合、ヒーターを取り付ける面積が小さい上に、装置の容積が大きいため、非常に大きな電力が要求されます。
したがって、形状が複雑化し消費電力が大きくなる傾向があります。
消費電力が高いヒーターは温度制御がなければ高温になって焼損する恐れがあります。
それを避けるためには、耐熱の高い絶縁材料が必要となります。万が一の焼損リスクを考慮した結果、ポリイミドフイルムを採用することになりました。
ポリイミドフィルム(PI)ヒーターの仕様
発熱体 | SUS系合金 帯状 |
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絶縁層 | ポリイミドフイルム |
リード線 | 架橋PE耐熱電線、テフロン耐熱電線 |
使用温度範囲 | -55℃~180℃(MAX:発熱素子上表面) |
電力許容差 | ±10%、±15% |
絶縁抵抗値 | DC500Vメガーにて100MΩ以上 |
耐電圧 | 150V以下のもの 1000V/分 150Vを超えるもの 1500V/分 |
厚さ | 0.5mm(端子部除く) |
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